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            真空等離子清洗機

            簡(jiǎn)要描述:真空等離子清洗機的作用原理主要是:等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì )產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

            • 產(chǎn)品型號:半導體SPA-100
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
            • 更新時(shí)間:2024-07-01
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:8897

            詳細介紹

            產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,化工,電子

             

               SPV100真空等離子清洗機產(chǎn)品簡(jiǎn)述

             ?。?.1)等離子清洗的作用原理主要是:

             ?。ˋ)對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì )產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

             ?。˙)激活鍵能,交聯(lián)作用等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結構,大大地激活了表面活性。

             ?。–)形成新的官能團--化學(xué)作用如果放電氣體中引入反應性氣體,那么在活化的材料表面會(huì )發(fā)生復雜的化學(xué)反應,引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,這些官能團都是活性基團,能明顯提高材料表面活性。

             

              (1.2)真空等離子清洗的優(yōu)勢等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。

              與傳統的一些清洗方法,如超聲波清洗、UV清洗等,以下優(yōu)點(diǎn):

             ?。ˋ)處理溫度低處理溫度可以低至80℃、50℃以下,低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

             ?。˙)處理全程無(wú)污染等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備,不產(chǎn)生任何污染,處理過(guò)程也不產(chǎn)生任何污染。

             ?。–)處理效果穩定等離子清洗的處理效果非常均勻穩定,常規樣品處理后較長(cháng)時(shí)間內保持效果良好。

             ?。―)可以處理各種形狀的樣品對于復雜形狀的樣品,等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實(shí)現對固體樣品內部位置進(jìn)行清洗。



             


             

            (1.2)產(chǎn)品原理等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成:控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣體系統、以及真空泵系統。

                    (A)控制系統:控制系統的功能在于控制整個(gè)設備的運行,包括人機界面(觸摸屏)、PLC、電氣電路。采用全自動(dòng)控制系統的真空等離子清洗,可實(shí)現多種模式多種程序對清洗設備進(jìn)行控制,滿(mǎn)足不同客戶(hù)的需求。

             ?。˙)激勵電源系統:激勵電源主要有三類(lèi):40KHz的中頻激勵電源,13.56MHz的射頻激勵電源,2.45GHz的微波激勵電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應用場(chǎng)合不同。

             ?。–)真空腔體:真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的:1)鋁合金腔體,2)不銹鋼真空腔體,3)石英腔體。根據用戶(hù)的不同需求,可實(shí)現不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。

             ?。―)工藝氣體系統:SPV100真空等離子清洗機工藝氣體包括流量計、氣壓閥等,用戶(hù)可靈活選擇多路的工藝氣體方案,氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等,可滿(mǎn)足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。

             ?。‥)真空泵:真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵,油泵主要采用雙級旋片泵,根據用戶(hù)所采用的腔體體積、工作效率、環(huán)境要求來(lái)制定真空泵的方案。

            (2.1)技術(shù)參數

            電源系統

            晟鼎定制射頻電源:頻率13.56MHz;功率0~600W可調;

            全自動(dòng)真空電容匹配器

            真空系統

            晟鼎定制雙級旋片泵(油泵):60m3/h

            可選配晟鼎定制羅茨泵250m3/h

            真空計:日本英??灯だ嵴婵沼?/span>

            真空管路:全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

            腔體系統

            (可定制)

            鋁合金真空腔體,高級焊接密封,25mm厚度

            腔體內部尺寸:450×450×500mm(寬×高×深)

            電極板布置方式:水平布置,可活動(dòng)抽取

            工作托盤(pán):可選配

            空間層數:8層

            氣體系統

            氣壓閥,日本SMC

            流量計,七星華創(chuàng )品牌,0~300SCCM

            兩路工藝氣體:氬氣、氧氣

            (氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳可選)

            控制系統

            PLC,德國西門(mén)子S系列

            觸摸屏,威綸通,七寸屏幕

            電氣部件:德國施耐德品牌

            其它參數

            外形尺寸:890×1745×1000mm(寬×高×深)

            重量:400KG

            顏色:銀灰色


            (2.2)尺寸參數




             

            (3)性能優(yōu)勢

            (3.1)*電源:采用*高壓激勵電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。

            (3.2)全面安全防護:溫度安全防護功能,過(guò)載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種誤操作保護功能。

            (3.3)*放電技術(shù):特殊處理及特殊結構的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。

            (3.4)密封性的真空腔體設計:高級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,配置進(jìn)口真空泵。

            (3.5)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品全部部件采用國內外優(yōu)質(zhì)部件,確保設備性能*

            (3.6)超低清洗溫度:滿(mǎn)足不同場(chǎng)合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

            (3.7)精密數控加工:進(jìn)口精密CNC數控機床加工工藝,并配備進(jìn)口三坐標測量?jì)x進(jìn)行質(zhì)量監控。

            (3.8)適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品,包括內孔內壁,*均勻清洗


            (4)案例及定制










             





             

             

             

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